公开/公告号CN103105524A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110356068.X
申请日2011-11-11
分类号G01R19/25(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2024-02-19 18:28:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R19/25 申请公布日:20130515 申请日:20111111
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R19/25 申请日:20111111
实质审查的生效
2013-05-15
公开
公开
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