应用于超声显微的全时域波形采集与分析技术

摘要

本发明涉及一种能对超声显微检测中的超声回波信号进行全时域波形采集和后期分析的方法，适用于半导体材料和电子封装等的超声显微检测领域。在超声显微检测中，由于采用的超声换能器均为高频聚焦探头，AD采样频率很高；同时，超声显微检测系统要求的扫查精度也很高，这些导致在扫查过程中产生的数据量很大，很难实现全时域波形的采集，这给后期的分析带来了困难。本发明采用数据压缩技术来大幅减小采集的数据量，并存储在硬盘文件中；在后期处理时，分段载入，进行解压和分析，通过设置不同的时间闸门位置来得到试样内不同深度位置的C扫图像，而不需要进行多次C扫描；同时可以得到任意位置的B扫和D扫图像，使用户获取到试样中感兴趣的各个水平和纵向剖面的信息。