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利用非交联的光-或热-可交联的聚合物层进行金属水平激光烧蚀来减少帽状突起的影响

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本发明涉及激光-可交联材料（10）的使用，所述激光-可交联材料是非交联或部分交联的，用于在激光蚀刻过程中保护有机晶体管的电极。

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公开/公告号CN102918676A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-02-06

原文格式PDF
申请/专利权人原子能和代替能源委员会;
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申请/专利号CN201180022622.9
发明设计人玛丽·埃茨曼;穆罕默德·本韦迪;
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申请日2011-04-21
分类号H01L51/05;H01L51/00;
代理机构上海申新律师事务所;
代理人竺路玲
地址法国巴黎
入库时间 2024-02-19 17:52:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-10-28

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L51/05 申请公布日:20130206 申请日:20110421

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-03-20

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/05 申请日:20110421

实质审查的生效
2013-02-06

公开

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外文文献

1. 利用非交联的光-或热-可交联的聚合物层进行金属水平激光烧蚀来减少帽状突起的影响 [P] . 中国专利： CN102918676A . 2013-02-06
2. 在具有着色交联外侧聚合物层的面状复合结构构成的容器内通过高压制备高压灭菌食品的方法 [P] . 中国专利： CN102666302A . 2012-09-12
3. Reduction of the effects of cap-like projections, due to laser ablation of a metal level by using a non-crosslinked light or heat-crosslinkable polymer layer [P] . 美国专利： US8580605B2 . 2013-11-12

机译：通过使用非交联的光或可热交联的聚合物层对金属层进行激光烧蚀，减少了帽状突起的影响
4. Reduction of the effects of cap like projections due to laser ablation of a metal level by using a non crosslinked light or heat crosslinkable polymer layer [P] . IN2012DN09409A . 2016-01-01

机译：通过使用非交联的光或可热交联的聚合物层，减少由于激光烧蚀金属层而引起的帽状凸起的影响
5. Using a heat-crosslinkable polymer layer light or uncrosslinked, reduction of cap-like projection effect due to laser ablation of the metal level [P] . 日本专利： JP2013529382A . 2013-07-18

机译：使用可热交联的聚合物层光或未交联，可降低由于激光烧蚀金属层而产生的帽状投影效果

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