一种高光生酸量子产率硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用

摘要

本发明涉及一种高光生酸量子产率硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用。本发明提出的光生酸剂化合物，其中：R1为甲基、苄基、五氟代苯基或4-氰基苄基；R2为三氟甲烷磺酸根、六氟磷酸根、六氟锑酸根或四氟硼酸根。本发明的PAG适用于诸如365nm、385nm、405nm，425nm的紫外区到近可见光区成像的光刻胶光活性成分。此类光生酸剂合成步骤简单，易于提纯，产率高，在365nm～425nm区域内，此类光生酸剂用于光刻胶体系能制备出性能优良的光刻胶，体现出0.3～0.6的光生酸量子产率，光激发效率高，催化活性高。