离子凝胶在石墨烯转移和制备石墨烯晶体管中的应用以及石墨烯晶体管及其制备方法

摘要

本发明涉及石墨烯技术领域，公开了离子凝胶在石墨烯转移和制备石墨烯晶体管中的应用以及石墨烯晶体管及其制备方法。所述离子凝胶含有由1‑乙基‑3‑甲基咪唑‑双(三氟甲基磺酸基)咪唑和聚乙二醇双丙烯酸酯单体组成的离子液体和引发剂。使用所述离子凝胶进行石墨烯转移，不需要去除离子凝胶，解决了PMMA残留在石墨烯上形成的捕获陷阱；降低了成本和避免使用有毒溶剂。所述离子凝胶弹性模量大，不容易出现裂缝；此外，本发明方法制备石墨烯晶体管，离子凝胶直接充当栅极介电层，不需要再单独进行栅极介电层的制备，简化了工艺。得到的石墨烯晶体管，阈值电压、回滞均减小，同样栅极电压下提高了源流电流，提高了迁移率。