公开/公告号CN102956432A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司;
申请/专利号CN201210401682.8
申请日2012-10-19
分类号H01J37/32;
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司;
代理人申健
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2024-02-19 17:33:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-22
授权
授权
2013-04-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20121019
实质审查的生效
2013-03-06
公开
公开
机译: 利用等离子体的基板处理装置以及使用基板处理装置的有机发光二极管显示器的制造方法
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