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显示基板的大气压等离子体处理装置

摘要

本发明实施例公开了一种显示基板的APP处理装置,属于显示技术领域。解决了现有的APP处理装置难以使等离子体在玻璃基板上均匀分布的技术问题。该APP处理装置,用于对显示基板进行APP处理,包括射频发生器和相对竖直放置的两个电极板;其中,一个电极板的内表面为平面,另一个电极板的内表面为阶梯面,使所述两个电极板之间形成上窄下宽的缝隙,并在所述缝隙内产生等离子体;所述射频发生器与所述两个电极板相连接,向所述两个电极板施加射频信号。本发明应用于玻璃基板的APP处理。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-07-22

    授权

    授权

  • 2013-04-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20121019

    实质审查的生效

  • 2013-03-06

    公开

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