冷喷涂用喷嘴以及使用该冷喷涂用喷嘴的冷喷涂装置

摘要

本发明的目的在于提供一种冷喷涂用喷嘴，为了通过冷喷涂法有效地得到高品质的薄膜，所述冷喷涂用喷嘴不引起喷嘴阻塞，且与传统技法相比，可以经久地长时间连续使用。为达成此目的，采用了一种冷喷涂用喷嘴，所述冷喷涂用喷嘴是沿着工作气体从流入侧向流出侧流动的方向，顺序连通配置收敛部、狭口部、发散部以构成工作气体的流动路径的冷喷涂用缩放式喷嘴，其特征在于该发散部的内壁面是圆锥形，并且该内壁面的一部分或者全部由玻璃材料构成。