一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法

摘要

本发明提供一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法，采用能动变形镜产生各种照明光瞳形状。能动变形镜的每个能动单元通过电压进行控制，可以利用优化算法、优化设计等来产生任意的照明光瞳形状，无需针对不同的掩模来设置机械转盘或离线设计衍射光学元件，操作灵活，只需通过计算机进行在线控制，具有较高的响应速度，提高了产率。由于本发明提供的方法可以产生任意的照明光瞳形状，能更好的满足一些特殊掩模图形的需要。