法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F9/00 申请日:20191114
实质审查的生效
2019-12-31
公开
公开
机译: 用于制造半导体器件的曝光设备,曝光光致抗蚀剂层的方法以及在曝光过程中检测振动和测量基板的相对位置的方法
机译: 用于制造半导体器件的曝光设备,曝光光致抗蚀剂层的方法以及在曝光过程中检测振动和测量基板的相对位置的方法
机译: 曝光设备,一种曝光方法以及一种利用能够在平台加速时测量基板高度的能力来制造设备的方法