法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D5/353 申请日:20190923
实质审查的生效
2019-12-20
公开
公开
机译: 法布里-珀罗-干涉仪-单元,一种用于操作法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法以及一种制造法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法
机译: 增强型电可调法布里-珀罗干涉仪,中级,电极布置以及生产法布里-珀罗电可调式干涉仪的方法
机译: 增强型电可调法布里-珀罗干涉仪,中级,电极布置以及生产法布里-珀罗电可调式干涉仪的方法