公开/公告号CN110534412A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-03
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201910849099.5
申请日2019-09-09
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曹廷廷
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2024-02-19 16:29:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20190909
实质审查的生效
2019-12-03
公开
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