公开/公告号CN102866442A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 同济大学;
申请/专利号CN201110189133.4
申请日2011-07-07
分类号G02B5/08(20060101);G02B1/10(20060101);B32B9/04(20060101);B32B15/00(20060101);C03C17/36(20060101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人林君如
地址 200092 上海市杨浦区四平路1239号
入库时间 2024-02-19 16:25:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B5/08 申请公布日:20130109 申请日:20110707
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/08 申请日:20110707
实质审查的生效
2013-01-09
公开
公开
机译: 多层膜反射镜和极紫外(EUV)曝光装置
机译: 多层膜反射镜,包括其的极紫外微光刻设备以及利用其的微电子器件制造方法
机译: 极紫外曝光用掩模,极紫外曝光用掩模坯料,极紫外曝光用掩模的制造方式以及多层膜