一种介孔PdO-WO3复合电阻型薄膜及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种介孔PdO‑WO3复合电阻型薄膜及其制备方法与应用，利用蒸发诱导自组装和交替旋涂法制备出具有介孔结构的复合氢敏薄膜，薄膜孔隙率的提高、P‑N结的存在以及离子在复合材料中的重新分布改善了气敏薄膜的氢敏性能，使传感器灵敏度大幅提高。该复合薄膜有利于氢气分子在其表面和内部扩散，能够快速吸脱附，使传感器响应和恢复时间缩短。利用Pd与W复合的介孔PdO‑WO3薄膜氢气传感器相比于未复合的WO3薄膜氢气传感器灵敏度大幅提高，并且本发明制备氢气传感器的方法工艺简单、成本低、尤其适合于批量生产。