用于显示器制造的基板上的自动临界尺寸测量的方法、检查用于显示器制造的大面积基板的方法、用以检查用于显示器制造的大面积基板的设备和操作所述设备的方法

摘要

根据一实施方式，提供一种用于显示器制造的基板上的自动临界尺寸测量的方法。所述方法包括利用带电粒子束扫描具有第一尺寸的第一视场，以取得第一影像，第一影像具有用于显示器制造的基板的第一部分的第一分辨率；确定第一影像中的图案，图案具有第一位置；利用带电粒子束扫描第二视场，以取得基板的第二部分的第二影像，第二视场具有第二尺寸并且具有第二位置，第二尺寸小于第一尺寸，第二位置相对于第一位置提供，第二影像具有第二。