一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法。其中测量装置包括干涉仪、CGH、光学透镜，通过在CGH设置主检测区域、与光学透镜对准区域、与干涉仪对准区域、镜面基准区域及透镜基准区域五种衍射区域对装置中的光学器件之间的位置进行调整，从而保证了检测光路中各光学元件的精确对准；本发明通过利用光学透镜对检测光路长度进行缩短，同时结合计算全息元件对待测自由曲面反射镜进行零位补偿，解决了现有技术由于在检测大曲率半径光学元件时检测光路的光程较长而导致的对测量环境要求较高测量困难的问题，为现代先进光学系统的制造开发提供保证，具有检测精度高，检测场地环境及尺寸要求简单等优点。