公开/公告号CN110620164A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学;
申请/专利号CN201910915598.X
申请日2019-09-25
分类号H01L31/113(20060101);H01L31/032(20060101);H01L31/0224(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴梦圆
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2024-02-19 15:53:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/113 申请日:20190925
实质审查的生效
2019-12-27
公开
公开
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