检查系统以及检查系统的故障分析和预知方法

摘要

检查装置(100)具有：探测器(200)，其具有用于保持形成有多个器件的基板(W)的载置台(26)、将基板(W)搬送到载置台(26)的搬送部(22)以及使多个探针(25a)与基板(W)上的多个器件的电极接触的探针卡(25)；测试器(300)，其经由探针卡(25)将向基板(W)上的多个器件提供电信号，来检查器件的电气特性；以及故障分析和预知处理部(400)，在进行检查时发生了故障的情况下、或发生了故障的前阶段的征兆时，该故障分析和预知处理部(400)对与该故障相关联的探测器(200)及测试器(300)的历史记录信息进行分析，来掌握或预知故障的部位。