压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法

摘要

本发明公开了压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法，该方法包括以下几个步骤：1)建立MEMS扬声器仿真几何模型；2)设置物理场和边界条件，它包括在“固体力学”、“电场”、“压力声学，频域”和“热粘性声学，频域”物理场中分别设置材料模型、压电本构关系、阻尼、约束条件、阻抗边界和电压载荷等；3)定义材料参数；4)设置网格类型和尺寸，并划分网格。5)求解计算：分别采用“频域”和“特征频率”研究对该有限元模型进行求解；6)结果后处理：通过后处理得到该压电式MEMS扬声器的声压级频响曲线、声压和声压级分布图、电容值随频率的变化关系、振动部件上应力/应变/位移/速度/加速度的大小和分布图，以及该MEMS扬声器的共振频率和振型。