一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置

摘要

本发明属于宝石抛光技术领域，特别涉及一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置，包括抛光盘、抛光头，蓝宝石衬底材料固定于抛光头的底部，抛光盘上表面为抛光垫，抛光盘、抛光头分别经由第一直线电机、第二直线电机带动转动；还设有用于产生超声脉冲电流的超声发生控制箱，所述超声发生控制箱与设置于抛光头上的压电陶瓷电连接，所述压电陶瓷产生脉冲振动；还包括电化学反应回路。本发明在电化学腐蚀的作用下蓝宝石衬底材料表面的化学反应加快，软物质生成加快。本发明在超声、电、化学、机械多能场复合作用下，蓝宝石衬底材料的抛光效率和拋光质量得到提高。