一种含TiAlTaN层和TiAlSiN层的多层涂层刀具及其制备方法

摘要

本发明公开了一种含TiAlTaN层和TiAlSiN层的多层涂层刀具及其制备方法。该多层涂层刀具包括刀具基体和沉积于刀具基体上的多层涂层，多层涂层包含有一交替沉积Ti1‑x‑yAlxTayN层和Ti1‑a‑bAlaSibN层的周期性涂层，Ti1‑x‑yAlxTayN层和Ti1‑a‑bAlaSibN层共格外延生长成超点阵结构。制备方法包括将刀具基体进行预处理，然后交替沉积Ti1‑x‑yAlxTayN层和Ti1‑a‑bAlaSibN层的周期性涂层，得到多层涂层刀具。本发明的多层涂层刀具具有高韧性、高硬度和优异的高温抗氧化性能等优点，制备方法工艺简单、设备常规、生产成本低。