气体分配系统和包括该气体分配系统的反应器系统

摘要

本发明公开了一种气体分配系统、包括所述气体分配系统的反应器系统以及使用所述气体分配系统和反应器系统的方法。气体分配系统可以用于气相反应器系统中，以独立地监测和控制联接到反应室的气体分配系统的多个通道中的气体流速。