基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法

摘要

一种基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法，将冶金硅表面酸洗、蒸馏水清洗，干燥，装进高纯石英坩埚内，并放入定向凝固炉中，抽真空；将炉温升至1200～1350℃，保温；向炉腔充入惰性气体；将炉温升至1500～1650℃，保温；得到硅熔体；将硅熔体温度降至1420～1570℃；引入轴向磁场和机械振动到硅熔体中；将坩埚以1～20μm/s的速率抽拉出加热区，开始长晶；长晶结束后，关闭励磁系统和停止机械振动，将温度降至1000～1300℃；关闭加热系统，随炉冷却。本发明得到的多晶硅材料组织中硅晶粒粗大且垂直于坩埚底部，缺陷少，杂质含量低；工艺成本低、简单；安全可靠、无污染；操作方便。