公开/公告号CN110441266A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院福建物质结构研究所;
申请/专利号CN201910380863.9
申请日2019-05-08
分类号
代理机构
代理人
地址 350002福建省福州市杨桥西路155号
入库时间 2024-02-19 15:21:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/47 申请日:20190508
实质审查的生效
2019-11-12
公开
公开
机译: 包括纳米级晶体颗粒的介观结构材料,该纳米级晶体颗粒在其晶体结构内包含固溶体中的金属
机译: 包括纳米级晶体颗粒的介观结构材料,该纳米级晶体颗粒在其晶体结构内包含固溶体中的金属
机译: 用于光罩检查的介观缺陷检测