在柔性基体上制备硬质薄膜的方法及相关产品

摘要

本发明涉及膜材料技术领域，公开了一种在柔性基体上制备硬质薄膜的方法及相关产品，所述在柔性基体上制备硬质薄膜的方法为：在利用气体离子源对柔性基体进行清洗处理后，采用磁过滤技术在柔性基体上沉积依次制备金属膜层、有机‑金属异质结和金属过渡层，然后利用高功率脉冲磁控溅射技术制备梯度过渡层以及硬质薄膜，从而完成了柔性基体上硬质薄膜的制备。本发明实施例提供的制备方法使制备的硬质薄膜的结构更加稳固，能够大大提高硬质薄膜中各涂层界面间的结合强度，进一步提高了使用该硬质薄膜的工件的使役性能。