圆筒型溅射靶的制造方法及圆筒型溅射靶

摘要

本发明的圆筒型溅射靶的制造方法包括：焊接材涂布工序，在溅射靶材的内周面及衬管的外周面形成焊料基底层；冷却工序，在焊接材涂布工序之后冷却溅射靶材及衬管；氧化物去除工序，去除在焊料基底层表面生成的氧化物；及焊料接合工序，对溅射靶材与衬管进行焊料接合。