用于半导体或显示系统领域的移送位置测量用试验模型及利用所述用于半导体或显示系统领域的移送位置测量用试验模型的精密移送测量方法

摘要

本发明公开了用于半导体或显示系统领域的移送位置测量用试验模型，包括模型本体、针孔影像测量部件、狭缝影像测量部件以及中央处理部件，从而能够防止检测对象体碰撞保管盒内的狭缝的方式测量狭缝的高度，即使未形成为的基准点，也利用提起针孔来判断在制造装置中，检测对象体是否正常向需要移送的位置移送。