两嵌段共聚物直接组装纳米结构的装置和方法

摘要

本发明涉及一种两嵌段共聚物直接组装纳米结构的装置和方法。整个装置包括一个具有化学表面图形的导电模板、两嵌段共聚物PS-b-PMMA、导电化的基底和直流电场，其中两嵌段共聚物PS-b-PMMA置于导电模板和基底之间。通过具有化学表面图形的导电模板和电场共同作用调控两嵌段共聚物微相分离的取向和形态，促使两嵌段共聚物微相分离在一定程度上进行可控有序的排列，直接组装出纳米结构。本发明能够实现大面积、长程有序Sub-10nm结构的制造，特别适合高密度和周期性阵列纳米孔、纳米柱以及层状等纳米结构的制造。