公开/公告号CN110291408A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201880012154.9
申请日2018-01-25
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 14:21:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R15/18 申请日:20180125
实质审查的生效
2019-09-27
公开
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