TOF传感器低漏电型高效二级转移存储节点及实现方法

摘要

本发明提供了一种TOF传感器低漏电型高效二级转移存储节点及实现方法，包括P型外延层的上表面设置有至少一个用于传输电荷的传输栅，P型外延层的上部沿电荷转移的方向设置有用于存储电荷的第一悬浮扩散节点、沟道区和用于存储经传输栅3所传输电荷的第二悬浮扩散节点；第一悬浮扩散节点的上部沿电荷的转移方向设有第一转移区、第二转移区和第三转移区。本发明提高电荷了转移效率，适用于TOF多次积分累积型测距及多级背景光分离技术应用中。