一种基于亚波长光栅的量子阱红外光探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于亚波长光栅的量子阱红外光探测器，由下向上依次包括有衬底、外延GaAs缓冲层、GaAs spacer隔离层、吸收腔、InGaAs缓冲层、GaAs spacer隔离层、GaAs窗口层；所述外延GaAs缓冲层上设有n型接触电极和p型接触电极；所述的衬底为硅衬底；所述的吸收腔由下向上依次为InGaAs、InAs量子点、InGaAs、InAs量子点；所述的GaAs窗口层刻蚀形成亚波长光栅层。本发明还提供了上述基于亚波长光栅的量子阱红外光探测器的制备方法。本发明具有低暗电流，多光谱响应，高分辨率，高工作温度，红外成像，量子效率高，抗辐射，成本低等优点；可广泛用于红外光探测技术领域。