一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台

摘要

本发明公开了一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，基座上有两个Y向导轨支撑凸台，每个Y向导轨支撑凸台外侧有Y向交叉滚子导轨；基座中间有位移输入机构，采用双平行板式柔性铰链及并联对称结构，中央为方形平台，方形平台中心有Z轴压电陶瓷驱动器，Z轴压电陶瓷驱动器上有球头帽；位移输入机构外侧有相互垂直X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器；中间连接层中心为矩形通孔，设置一对X向导轨支撑凸台，每个X向导轨支撑凸台外侧有X向交叉滚子导轨；方形平台上有摩擦块，摩擦块中心有方形位移台，方形位移台顶端有摩擦垫片。本发明适用于微电子制造、生物医疗工程、微纳操作及超精密加工等领域。