用于将薄膜沉积到柔性基底上的系统和方法

摘要

本申请涉及用于将薄膜沉积到柔性基底上的系统和方法，用于将薄膜层沉积到柔性铁磁基底上的系统和方法包括沉积区中的多孔块和嵌入多孔块内的多个磁体。磁体在柔性铁磁基底上提供向下的力，该柔性铁磁基底在多孔块上方例如在卷盘到卷盘系统中被输送。加压气体被迫向上穿过多孔块，提供向上的力，该向上的力平衡向下的力并将基底支撑在多孔块上方的期望高度处。因此，基底在经过沉积区的输送过程中保持平整，使得薄膜层能够均匀沉积。