光学天线、相控阵激光雷达及光学天线的制备方法

摘要

本发明提供了一种光学天线、相控阵激光雷达及光学天线的制备方法。该光学天线包括：SOI衬底，波导结构层，间隔层，光栅结构层及保护层；SOI衬底包括：底部硅层，埋氧化层及顶部硅层；在SOI衬底的顶部硅层形成波导结构层，在波导结构层的上方依次设置有间隔层，光栅结构层及保护层；由于光栅结构层的折射率与间隔层及保护层的折射率的差值均大于预设阈值且光栅结构层的折射率高于间隔层及保护层的折射率，所以该光栅结构层具有高折射率对比度，使光波在波导结构层发生衍射时，能够消除SOI衬底方向的衍射，光波能够成功向上发射，从而获得高的辐射效率，进而大大提高光学天线的利用率。