一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法

摘要

本发明公开了一种基于增量绝对光栅尺的绝对位移检测方法，包括：通过在增量式光栅尺上做标记，使其转变为一种增量绝对光栅尺，保证每条栅纹的唯一性；采集光栅图像并去噪，提取光栅尺的栅纹，建立深度学习的神经网络模型，训练每一道栅纹，保存训练后的神经网络模型；建立位移检测的数学模型，采集待检测位移的光栅尺的图像并利用训练好的神经网络模型进行栅纹识别，将识别出的栅纹号反馈给数学模型，以计算位移检测值。本发明将增量式光栅尺转变为增量绝对光栅尺，位移的测量方法是通过增量方式实现绝对光栅尺的功能，并且，大幅降低了光栅尺制造精度。