法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20190529
实质审查的生效
2019-09-27
公开
公开
机译: 基于氮化物的III-V族半导体器件及其制造方法,制造基于氮化物的III-V族半导体衬底的方法以及大量基于氮化物的III-V族半导体衬底
机译: 制造基于氮化物的III-V族化合物晶体的方法,基于氮化物的III-V族化合物晶体基质,基于氮化物的III-V族化合物的晶体膜以及制造装置的方法
机译: 制备基于氮化物的III-V族化合物的方法,基于氮化物的III-V族化合物的晶体底物,基于氮化物的III-V族化合物的膜和制备装置的方法