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一种利用八边形铸锭热场铸造单晶的方法及铸造单晶硅锭

摘要

本发明涉及一种利用八边形的晶硅铸锭的热场结构铸造单晶硅锭的方法及制得的铸造单晶硅锭,热场结构包括炉体、设置在所述炉体内的八边形的坩埚,所述坩埚外设置有护板、加热系统和保温系统,所述炉体还设有支撑所述坩埚和护板的导热块,所述方法利用上述热场结构制备铸造单晶硅锭,采用该八边形热场结构,可在同样规格的炉体内提高装料量,且热场内部的温度更加均匀,同时改善了边角硅锭质量,提升了铸造单晶硅锭的良率。

著录项

  • 公开/公告号CN110387579A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;

    申请/专利号CN201910717092.8

  • 发明设计人 胡动力;张华利;陈红荣;游达;

    申请日2019-08-05

  • 分类号C30B29/06(20060101);C30B11/02(20060101);

  • 代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;

  • 代理人唐清凯

  • 地址 221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号

  • 入库时间 2024-02-19 13:49:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/06 申请日:20190805

    实质审查的生效

  • 2019-10-29

    公开

    公开

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