皮米光梳、皮米光梳的制造装置和制造方法

摘要

一种皮米光梳、皮米光梳的制造装置和制造方法，皮米光梳是一种特殊的、相邻栅线的槽宽连续可变的光栅，其特点是每个栅槽的宽度与相邻栅槽相比，相差一个固定差值，例如Δd，这个差值Δd可以从皮米到纳米量级。本发明皮米光梳将为皮米测量提供了一个基准。皮米光梳会产生一个不同于传统光栅的衍射光场分布，由此会带来新的衍射效应，实现新的衍射光学功能，提供皮米光刻、皮米测量、皮米成像等工具，因此，皮米光梳会在半导体光刻、生命科学、光与物质在皮米尺度相互作用等多个领域中发挥重要作用。