EFEM以及EFEM的气体置换方法

摘要

本发明提供EFEM以及EFEM的气体置换方法。在使壳体内的非活性气体循环的类型的EFEM中，抑制成本的增加，并且抑制颗粒放出到输送室内。EFEM具有输送室和回归通路，构成为供氮循环，所述输送室供由用于去除颗粒的FFU净化后的氮沿预定方向流动，所述回归通路使氮自输送室的下游侧向FFU返回。EFEM具备输送机器人，所述输送机器人配置在输送室内，在保持有晶圆的状态下进行预定的动作。输送机器人具有：壳构件，其形成有开口；臂机构，其配置于壳构件的外侧，用于保持晶圆；支柱，其支承臂机构，并且贯穿于开口；以及驱动机构，其收纳于壳构件，用于驱动支柱，输送机器人设有将壳构件与所述回归通路连接的连接通路。