法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/03 申请日:20190513
实质审查的生效
2019-09-17
公开
公开
机译: 用于测量原位气体的探针污染预防装置,能够防止由于排放气体而对光学仪器组件造成损坏
机译: 用于在微电子装置衬底组件的机械或化学机械平面化中的幅材式平面化机器上进行原位光学终点的设备和方法
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