一种原子能谱测量系统和测量方法

摘要

本发明提供了一种原子能谱测量系统和测量方法，包括等离子体发生器、准直单元、电子枪、收集单元和测量单元；等离子体发生器用于产生等离子体，等离子体经过中性化板后生成原子束；准直单元用于对原子束进行准直；电子枪用于发射纳秒级脉冲宽度的电子束，以使电子束轰击准直后的原子束，并使原子束离化成离子；收集单元用于收集离子；测量单元用于测量得到收集单元的电流‑时间信号，并根据电流‑时间信号得到原子束的能谱信息。本发明中，采用纳秒级脉冲宽度的电子束作为电离源，由于电子和离子的生成时间很短，在收集单元的接收端口根本来不及形成等离子体，因此，不会产生等离子体空间电位和鞘层，从而提高了原子能谱的测量准确度。