一种窄周期长波红外多层光栅结构

摘要

本发明公开了一种窄周期长波红外多层光栅结构及其制备流程，解决了现有大周期光栅在组成光栅阵列时，无法满足光栅区域无限大前提条件的问题。本发明的一种窄周期长波红外多层光栅结构，自上而下依次包含光栅层、基底层和高反层；所述高反层包含三层，分别是高反层高折射率层以及设置在高反层高折射率层上下表面的高反层低折射率层；所述光栅层与基底层厚度相同，两个高反层低折射率层的厚度相同；所述光栅层包含在同一平面分布的高折射率材料和低折射率材料；高折射率材料为碲，低折射率材料为锗；所述基底层选用金属材料锗；所述高反层高折射率层的材料为锗，高反层低折射率层的材料为氯化钠。