柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法及其应用

摘要

本发明提供了柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法。该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，选择石墨靶，在惰性气体氛围中在柔性基底表面溅射沉积非晶碳膜，脉冲电源电压为800～1000V，脉冲占空比为1％～5％。与现有技术相比，该方法还避免了制备过程中温度过高而导致柔性基底材料遭破坏的问题，从而可应用于柔性压阻传感元件中，实现压阻传感元件的柔性化。