砷化铟单晶片位错腐蚀液及位错腐蚀检测方法

摘要

一种砷化铟单晶片位错腐蚀液及位错腐蚀检测方法，涉及缺陷检测技术领域。砷化铟单晶片位错腐蚀液，主要由盐酸、硫酸和水组成。本发明提供的位错腐蚀液的原料价格低廉、易于得到，腐蚀效率高。本发明还提供了采用上述位错腐蚀液进行位错腐蚀检测的方法，包括如下步骤：将砷化铟单晶片置于腐蚀液中，进行腐蚀，得到位错腐蚀后的砷化铟单晶片，将完成位错腐蚀的砷化铟单晶片的表面进行清洁，再进行观察。本发明提供的位错腐蚀检测方法操作简单、腐蚀效率高，可以快速、清晰地显示砷化铟单晶片中的位错。