一种声电转换效率高的柔性声传感器

摘要

本发明涉及一种声电转换效率高的柔性声传感器，具有复合层结构，包括相邻的压电膜层和下电极层，压电膜层的单侧表面仅部分与下电极层结合，其余部分与下电极层之间设有空腔；柔性声传感器在分贝为80dB且频率为220Hz的声波下的最大电压输出为0.9～2.7mV/cm2。本发明的柔性声传感器的声电转换效率高，相对于压电膜层与下电极层完全贴合的柔性声传感器的声电转换效率提高了50％～350％，同时，本发明的柔性声传感器的制备工艺简单，不改变其主体结构模式，不影响传感器柔性，有效解决了由于下电极材料的吸振现象限制压电膜的振动效果，导致柔性声传感器的声电转换效率被大大削弱的问题。