一种具有高效声电转换特性的柔性声传感器

摘要

本发明涉及一种具有高效声电转换特性的柔性声传感器，具有复合层结构，包括相邻的压电膜层和下电极层，下电极层上设有盲孔，且盲孔的孔口所在的下电极层的表面与压电膜层结合，盲孔的直径为1cm，深度为0.7cm，分布密度为1个/2～12cm²，盲孔的形状为圆柱状；柔性声传感器在分贝为80dB且频率为220Hz的声波下的最大电压输出为1.0～3.5mV/cm²。本发明的柔性声传感器的具有高效声电转换特性，相对于压电膜层与下电极层完全贴合的柔性声传感器的声电转换效率提高了67％～483％，本发明有效解决了由于下电极材料的吸振现象限制压电膜的振动效果，导致柔性声传感器的声电转换效率被大大削弱的问题。