具有超硬磨料增强的化学机械平坦化修整器衬垫

摘要

本申请涉及一种具有超硬磨料增强的化学机械平坦化修整器衬垫。该垫修整器包括具有带纹理或粗糙表面的特征部，具有超硬磨料晶种，例如散布在粗糙表面上的金刚石。涂层，例如多晶金刚石可应用于表面和磨料晶种上。在一个实施方式中，所述涂层的厚度是较大超硬磨料的50％～100％。