角度分辨显微拉曼光谱探测装置及探测方法

摘要

本发明提供一种角度分辨显微拉曼光谱探测装置及探测方法，涉及光学测量设备技术领域，角度分辨显微拉曼光谱探测装置包括：拉曼探测机构和倾角控制机构；拉曼探测机构设置有信号出入口，信号出入口与样品相对应，拉曼探测机构能够向样品表面发射激光信号、采集样品表面被激发出的散射信号、并进行拉曼光谱分析；拉曼探测机构与倾角控制机构连接，倾角控制机构用于调节拉曼探测机构与倾角控制机构的连接角度，以调节角度分辨显微拉曼光谱探测装置的探测倾角的角度。通过采集样品表面同一测点不同探测倾角时的散射信号，以获得同一测点不同探测倾角下的光谱数据，以实现对样品的精细化测量。