微镜头制备方法及微镜头

摘要

本发明公开了一种微镜头制备方法及微镜头，该方法包括：制备连接电路，连接电路设置在感光器件和电路器件的上侧，感光器件和电路器件的下侧设置在芯片衬底上；在连接电路的上侧沉积具有第一预定厚度的沉积平坦化层；在沉积平坦化层的上侧沉积具有第二预定厚度的沉积牺牲层；在沿着高度方向上，对与感光器件相对应的沉积牺牲层进行刻蚀，形成具有与感光器件个数相匹配的预定图形的刻蚀区，其中，相邻两个预定图形之间间隔预定刻蚀间距；在沉积牺牲层的上侧沉积具有第三预定厚度的沉积钝化层，在沿着高度方向上，沉积钝化层中与刻蚀区相对应的区域形成微透镜。本发明制备的微镜头能较佳地满足生物识别领域的特定需求。