包括微机电系统和封装该微机电系统的盒子的电子系统

摘要

本发明涉及一种电子系统，其包括电子系统(10)，电子系统(10)包括机电微系统(12)和封装所述微系统(12)的密封盒(14)。该盒(14)包括紧固平面。机电微系统(12)包括敏感部分(47)和将敏感部分(47)连接至紧固平面的至少两个横梁(51A、51B)。横梁(51A、51B)热耦合至敏感部分(47)并且彼此电耦合。该系统还包括机电微系统(12)的热调节器(16)，热调节器(16)包括电路(61)和电路控制器(62)，电路(61)包括连接至横梁(51A、51B)的至少两个端部(69A)，电路控制器(62)能够在所述电路(61)中生成电流以修改所述敏感部分(47)的温度。